上榜重點(diǎn)項(xiàng)目，有研德州兩大項(xiàng)目建設(shè)“苗頭”已現(xiàn)

“有研”是山東德州在中國“芯版圖”上的一個(gè)重要“標(biāo)簽”。2022年，山東有研艾斯半導(dǎo)體材料有限公司集成電路用大硅片產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目、有研億金新材料（山東）有限公司集成電路用高純?yōu)R射靶材生產(chǎn)項(xiàng)目同時(shí)上榜德州市級以上重點(diǎn)項(xiàng)目。

這已是山東有研艾斯半導(dǎo)體材料有限公司集成電路用大硅片產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目連續(xù)兩年（2021年與2022年）進(jìn)入山東德州市級重點(diǎn)建設(shè)項(xiàng)目名單。該項(xiàng)目還于2021年進(jìn)入山東省級重點(diǎn)建設(shè)項(xiàng)目名單，但今年未出現(xiàn)在山東省2022年省重點(diǎn)項(xiàng)目名單中。而有研億金新材料（山東）有限公司集成電路用高純?yōu)R射靶材生產(chǎn)項(xiàng)目進(jìn)入了山東省2022年省重點(diǎn)項(xiàng)目名單。

此外，通過有研德州兩大項(xiàng)目——集成電路用大硅片產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目及集成電路用高純?yōu)R射靶材生產(chǎn)項(xiàng)目的近期招標(biāo)情況來看，建設(shè)“苗頭”已現(xiàn)。

高純?yōu)R射靶材生產(chǎn)項(xiàng)目

2021年9月13日，有研新材發(fā)布公告稱，公司擬投資建設(shè)有研億金新材料有限公司靶材擴(kuò)產(chǎn)項(xiàng)目，總投資3.28億元。公告顯示，該項(xiàng)目包括山東德州新建生產(chǎn)基地和昌平基地升級改造兩部分，德州基地新建項(xiàng)目主要包括廠房、綜合辦公樓等建（構(gòu)）筑物的建設(shè)、裝修，設(shè)備購置與安裝調(diào)試等，昌平基地提升項(xiàng)目主要是現(xiàn)有廠房、設(shè)備的升級優(yōu)化。項(xiàng)目建成后產(chǎn)能達(dá)到73,000塊/年。

造價(jià)咨詢服務(wù)招標(biāo)公告顯示：隨著半導(dǎo)體行業(yè)景氣度逐步上升，全球晶圓加工需求保持穩(wěn)定增長，大陸晶圓廠建設(shè)及投產(chǎn)進(jìn)度明顯高于全球水平，正帶動(dòng)國內(nèi)半導(dǎo)體靶材市場較快增長。半導(dǎo)體靶材市場正逐漸向中國大陸轉(zhuǎn)移，國內(nèi)靶材企業(yè)面臨良好市場機(jī)遇。為進(jìn)一步擴(kuò)大靶材產(chǎn)能和提升市場占有率，將技術(shù)優(yōu)勢向產(chǎn)業(yè)優(yōu)勢轉(zhuǎn)化，做強(qiáng)做大靶材產(chǎn)業(yè)，持續(xù)保持領(lǐng)先地位，有研億金新材料（山東）有限公司實(shí)施產(chǎn)品結(jié)構(gòu)和區(qū)域布局上的“雙優(yōu)化”，在德州新建集成電路用高純?yōu)R射靶材研發(fā)生產(chǎn)基地。

大硅片產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目

2019年12月18日，有研集團(tuán)與德州市政府、株式會(huì)社RS Technologies、德州匯達(dá)在德州共同簽署12英寸集成電路用大硅片產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目投資合作協(xié)議書。有研集團(tuán)當(dāng)時(shí)消息顯示，該項(xiàng)目預(yù)計(jì)投資額62億元，建設(shè)目標(biāo)為年產(chǎn)360萬片12英寸硅片。項(xiàng)目將建成為我國北方地區(qū)最大的集成電路用大硅片生產(chǎn)基地。

據(jù)了解，山東有研集成電路用大尺寸硅材料規(guī)模化生產(chǎn)項(xiàng)目于2018年7月簽約落地山東德州，2019年3月份舉行開工儀式，項(xiàng)目總投資80億元，分兩期建設(shè)。其中一期18億元，二期62億元。一期已于2020年10月16日量產(chǎn)。二期建設(shè)目標(biāo)為年產(chǎn)360萬片12英寸硅片。

天眼查顯示，山東有研艾斯半導(dǎo)體材料有限公司成立于2020年3月11日，股東包括德州匯達(dá)半導(dǎo)體股權(quán)投資基金合伙企業(yè)（德州政府出資）、有研半導(dǎo)體硅材料股份公司（股東包括株式會(huì)社RS Technologies）、有研科技集團(tuán)有限公司。

山東有研艾斯2021年4月官方消息顯示，山東有研艾斯半導(dǎo)體材料有限公司是專注于12英寸硅片研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化的企業(yè)，承擔(dān)建設(shè)的“12英寸集成電路用大硅片產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”通過了國家發(fā)改委和工信部窗口指導(dǎo)工作，是國內(nèi)為數(shù)不多的列入國家集成電路產(chǎn)業(yè)規(guī)劃布局的12英寸硅片項(xiàng)目，同時(shí)也是山東省重點(diǎn)投資項(xiàng)目。

2021年4月，山東新聞聯(lián)播顯示，德州有研半導(dǎo)體深化與日本RST株式會(huì)社合作開展12英寸半導(dǎo)體級硅片項(xiàng)目。在德州經(jīng)開區(qū)，得益于與日本RST株式會(huì)社的合作，有研集成電路用大尺寸硅材料規(guī)模化生產(chǎn)項(xiàng)目進(jìn)展順利。當(dāng)?shù)卣贸稣娼鸢足y，兌現(xiàn)各級獎(jiǎng)勵(lì)資金超過2億元。日本項(xiàng)目方投資800多萬美元，將開展二期12英寸半導(dǎo)體級硅片項(xiàng)目。山東有研艾斯半導(dǎo)體材料有限公司CTO古頭泰則表示，這里營商環(huán)境非常好，今年引進(jìn)生產(chǎn)及檢測相關(guān)的設(shè)備，明年確立量產(chǎn)工藝，為量產(chǎn)打下基礎(chǔ)。

此外，山東省新動(dòng)能基金管理有限公司消息顯示，有研12英寸集成電路用大硅片產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目定位于28nm及以下線寬的技術(shù)水平。

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